凱美特氣(002549)一則公告令二級市場沸騰。

2月2日午間，凱美特氣公告宣布，其子公司收到全球光刻機龍頭ASML子公司的供應(yīng)商認證函，將公司光刻氣產(chǎn)品列入合格供應(yīng)商名單。凱美特氣也將成為繼華特氣體(688268)后，國內(nèi)第二家獲得ASML認證的電子特氣廠商。

午后，這一消息瞬間令凱美特氣股價拉升漲停，而同行華特氣體股價也在午后出現(xiàn)一定拉漲，一度漲逾3%。此前，被視為晶圓制造“血液”的電子特氣一直由國外廠商壟斷，隨著國產(chǎn)廠商陸續(xù)獲得巨頭認證，市場預(yù)計該細分領(lǐng)域國產(chǎn)替代化率將加速提升。

【資料圖】

獲光刻機龍頭“背書”

凱美特氣公告顯示，其控股子公司岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司(簡稱“電子特種氣體公司”)2月2日收到ASML子公司Cymer公司發(fā)來的合格供應(yīng)商認證函，電子特種氣體公司生產(chǎn)的光刻氣產(chǎn)品通過了Cymer公司審查，Cymer公司已將電子特種氣體公司光刻氣產(chǎn)品列入合格供應(yīng)商名單。

據(jù)了解，Cymer是世界領(lǐng)先的準分子激光源提供商，是ASML 集團內(nèi)一家獨立運營的企業(yè)。Cymer公司發(fā)明了如今半導(dǎo)體制造中最關(guān)鍵的光刻技術(shù)所需的深紫外(DUV)光源，開發(fā)、制造和服務(wù)深紫外(DUV)光源。產(chǎn)品組合包括使用氟化氬(ArF)或氟化氪(KrF)氣體產(chǎn)生深紫外光的準分子激光器。

一般而言，集成電路領(lǐng)域的認證至少需要2年時間，一旦獲得客戶認可，一般不會輕易更換供應(yīng)商。換言之，公司以后進入光刻氣行業(yè)市場，不再只是第三方代理銷售。

在去年10月，凱美特氣方面曾表示，其在ASML的供應(yīng)商認證仍在進行中。而除了ASML外，凱美特氣還于2021年相繼通過了法國液空、美國相干的稀有氣體、混配氣認證，電子特氣業(yè)務(wù)開始逐漸放量。

該公司2022年中報顯示，特種氣體業(yè)務(wù)2022年上半年營收已由上年同期的825萬元提高至6586萬元，占比由上年同期的2.74%升至18.12%。而在去年1-9月，凱美特氣累計電子特氣訂單總銷售額達2.57億元，約為2021年全年訂單金額的13倍。

不過，凱美特氣此次在公告中也表示，公司獲得ASML子公司Cymer公司合格供應(yīng)商認證函體現(xiàn)了頭部光刻機激光設(shè)備廠商對公司光刻氣產(chǎn)品的認可。Cymer公司本身不直接采購光刻氣產(chǎn)品，本次認證暫時未對其光刻氣產(chǎn)品營業(yè)收入、利潤產(chǎn)生直接影響。

這一消息也令二級市場沸騰，其股價在午后開盤后瞬間拉漲停，同時“順帶”拉了一把同行華特氣體，其股價也在開盤后一度漲逾3%。

細分領(lǐng)域國產(chǎn)替代加速

資料顯示，電子氣體是現(xiàn)代工業(yè)之基石，被譽為晶圓制造之“血液”。電子氣體可分為大宗氣體和特種氣體兩大類，其下游廣泛應(yīng)用于集成電路、面板、醫(yī)療、光纖等新興行業(yè)和冶金、化工等傳統(tǒng)行業(yè)。

具體到集成電路領(lǐng)域，電子特氣應(yīng)用的種類超過110余種，用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)，是半導(dǎo)體行業(yè)必需的支撐性材料。

根據(jù)億渡數(shù)據(jù)，2021 年，集成電路是電子特氣下游應(yīng)用中最重要的增長驅(qū)動力，其應(yīng)用占比達到43%。在半導(dǎo)體材料的市場占比中，電子特氣占14%，成為僅次于硅片的第二大半導(dǎo)體材料市場。隨著國內(nèi)晶圓廠陸續(xù)擴產(chǎn)，作為半導(dǎo)體的主要材料，電子特氣需求旺盛。

不過，當前全球電子氣體呈現(xiàn)外資寡頭壟斷格局。數(shù)據(jù)顯示，2020年全球電子氣體市場的 CR4超過75%，以海外龍頭林德集團(含普萊克斯)、空氣化工、液化空氣和日本酸素為首的氣體寡頭占據(jù)了全球七成以上的電子氣體市場份額。

相比之下，國內(nèi)電子特氣產(chǎn)業(yè)起步較晚。根據(jù)億渡數(shù)據(jù)，2020年海外寡頭占據(jù)了我國86%的電子特氣市場份額，國產(chǎn)化率有較大提升空間。

除了此次凱美特氣獲得ASML認證外，此前國內(nèi)僅有華特氣體獲得這家光刻機龍頭認可。據(jù)了解，華特氣體已實現(xiàn)約50種特種氣體國內(nèi)同類產(chǎn)品的進口替代。其中，該公司的拳頭產(chǎn)品光刻氣得到ASML和日本GIGAPHOTON認證。

目前，華特氣體開發(fā)的高純一氧化碳、 高純一氧化氮等代表產(chǎn)品，已批量供應(yīng)長江存儲等國內(nèi)頭部廠商，成為全國最大的氮化鎵廠和碳化硅廠的供應(yīng)商。

據(jù)華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院，2022年全球和中國的電子特氣市場規(guī)模分別預(yù)計為49億美元和189億元。考慮到國內(nèi)下游Fab廠正加速認證，中國電子特氣需求增速將顯著高于全球。中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會預(yù)計，2024年中國電子特氣市場規(guī)模將提升到230億元，4年CAGR為11.28%，屆時中國將占據(jù)全球6成市場。

民生證券研報認為，通過不斷的經(jīng)驗積累，國內(nèi)電子特種氣體正逐步打破進口依賴的局面。目前國內(nèi)電子特氣第一梯隊的廠商已經(jīng)具備替代能力，在細分領(lǐng)域具有一定優(yōu)勢，在部分產(chǎn)品上實現(xiàn)突破，達到國際標準，并逐步縮小與國外企業(yè)的差距，加速實現(xiàn)國產(chǎn)替代。

關(guān)鍵詞： ASML 凱美特氣